以往研磨盘较多使用的是铸铁或碳钢材料，其使用寿命短、热膨胀系数大，在加工硅晶片过程中，特别是高速研磨或抛光时，由于研磨盘的磨损和热变形，使硅晶片的平面度和平行度难以保证。随着黑碳化硅陶瓷耐磨材料的发展和和烧结工艺的开发，铸铁和碳钢研磨盘逐渐被碳化硅研磨盘所代替，其硬度高、磨损小的特性以及与与硅晶片基本相同的热膨胀系数，应用在高速研磨抛光过程具有突出优势。
简介：
黑碳化硅是用石英砂、石油焦（或煤焦）、木屑等原料在电阻炉内经高温冶炼而成，在电阻炉内经高温冶炼而成，呈黑色不透明体，六角形结晶，莫氏硬度为9.15。仅次于金刚石和碳化硼，性能脆而锋利并且有一定的导电性.
黑碳化硅物理性质
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属性 Properties 规格Type |
粒度砂Grains |
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F8# 10# 12# 14# 16# 20# 24# 30# 36# 40# 46# 54# 60# 70# 80# 90# 100# 120# 150# 180# 220# |
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保证值 Guarantee Value |
典型值Typical Value |
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化学成分 Chemical Composition |
SIC |
≥98.5 |
98.81 |
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F.C |
≤0.2 |
0.14 |
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Fe2O3 |
≤0.2 |
0.16 |
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H2O3 |
≤1 |
0.3 |
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黑碳化硅粒度砂生产流程
黑碳化硅包装：
