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碳化硅陶瓷件能用于半导体行业吗?

作者:王青15890630517  发布时间:2024-08-23 10:32:29   人气:

碳化硅陶瓷件能用于半导体行业吗?

能!
半导体制造是现代科技发展的基石,随着行业对更小、更快、更高效集成电路的不断追求,制造过程的精确度和技术复杂性也在不断增加,每一个步骤都离不开高性能、高质量和高精度半导体设备。碳化硅(SiC)作为一种性能优异的结构陶瓷材料,具备密度高、热传导率高、弯曲强度大、弹性模数大、抗腐蚀性强、耐高温等特性,不易产生弯曲应力变形和热应变,能够适应晶圆外延、刻蚀等制造环节的强腐蚀性、超高温的恶劣反应环境,因此在研磨抛光、外延/氧化/扩散等热处理、光刻、沉积、刻蚀,离子注入等半导体制程中得到了广泛应用。

 

黑碳化硅陶瓷制品
简介:

黑碳化硅是用石英砂、石油焦(或煤焦)、木屑等原料在电阻炉内经高温冶炼而成,在电阻炉内经高温冶炼而成,呈黑色不透明体,六角形结晶,莫氏硬度为9.15。仅次于金刚石和碳化硼,性能脆而锋利并且有一定的导电性.

120目黑碳化硅陶瓷密封圈用磨料

 

黑碳化硅物理性质

莫氏硬度

9.15

熔点

2250℃

最高使用温度

1900℃

真密度

3.2-3.4 g/cm3

显微硬度

2840~3320kg/mm2

 

黑碳化硅粒度砂型号

    属性 Properties

      规格Type

              粒度砂Grains

F8# 10# 12# 14# 16# 20# 24# 30# 36# 40# 46# 54# 60# 70# 80# 90# 100# 120# 150# 180# 220#

保证值 Guarantee Value

典型值Typical Value

 化学成分

Chemical

Composition

SIC

       ≥98.5

     98.81

F.C

       ≤0.2

     0.14

Fe2O3

       ≤0.2

     0.16

H2O3

       ≤1

     0.3

 

碳化硅粒度砂生产流程

120目黑碳化硅陶瓷密封圈用磨料
 

黑碳化硅包装:

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